WB 8晶圆键合机能够实现所有类型的键合,如阳极键合、热压键合等。支持最大晶圆尺寸为8英寸,采用半自动化操作,可运用于先进封装、MEMS等多种应用。该设备采用了上下对称的快速加热和冷却系统,并配备高性能施压系统,从而确保键合工艺的高效完成。
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